Τα τελευταία χρόνια, με την πρόοδο της τεχνολογίας ολοκληρωμένων κυκλωμάτων (IC), οι σχετικές εφαρμογές των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων έχουν αναπτυχθεί ραγδαία.Ο στόχος εκτόξευσης από κράμα αλουμινίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας, ως υποστηρικτικό υλικό στην κατασκευή μεταλλικών διασυνδέσεων ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, έχει γίνει καυτό θέμα στην πρόσφατη εγχώρια έρευνα.ο συντάκτης του RSM θα μας δείξει τα χαρακτηριστικά του στόχου sputtering από κράμα αλουμινίου υψηλής καθαρότητας.
Προκειμένου να βελτιωθεί περαιτέρω η απόδοση επιμετάλλωσης του στόχου διασκορπισμού μαγνητρόν και να διασφαλιστεί η ποιότητα των εναποτιθέμενων φιλμ, ένας μεγάλος αριθμός πειραμάτων δείχνει ότι υπάρχουν ορισμένες απαιτήσεις για τη σύνθεση, τη μικροδομή και τον προσανατολισμό των κόκκων του στόχου επιμετάλλωσης από κράμα αλουμινίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας.
Το μέγεθος των κόκκων και ο προσανατολισμός των κόκκων του στόχου έχουν μεγάλη επίδραση στην προετοιμασία και τις ιδιότητες των φιλμ IC.Τα αποτελέσματα δείχνουν ότι ο ρυθμός εναπόθεσης μειώνεται με την αύξηση του μεγέθους των κόκκων.Για τον στόχο εκτόξευσης με την ίδια σύνθεση, ο ρυθμός εκτόξευσης του στόχου με μικρό μέγεθος κόκκου είναι ταχύτερος από αυτόν του στόχου με μεγάλο μέγεθος κόκκου.Όσο πιο ομοιόμορφο είναι το μέγεθος των κόκκων του στόχου, τόσο πιο ομοιόμορφη είναι η κατανομή του πάχους των εναποτιθέμενων μεμβρανών.
Κάτω από τις ίδιες παραμέτρους του οργάνου εκτόξευσης και της διαδικασίας, ο ρυθμός εκτόξευσης του στόχου κράματος Al Cu αυξάνεται με την αύξηση της ατομικής πυκνότητας, αλλά είναι γενικά σταθερός σε μια περιοχή.Η επίδραση του μεγέθους των κόκκων στον ρυθμό εκτόξευσης οφείλεται στην αλλαγή της ατομικής πυκνότητας με την αλλαγή του μεγέθους των κόκκων.Ο ρυθμός εναπόθεσης επηρεάζεται κυρίως από τον προσανατολισμό των κόκκων του στόχου του κράματος Al Cu.Με βάση τη διασφάλιση της αναλογίας (200) κρυσταλλικών επιπέδων, η αύξηση της αναλογίας των (111), (220) και (311) κρυσταλλικών επιπέδων θα αυξήσει τον ρυθμό εναπόθεσης.
Το μέγεθος κόκκου και ο προσανατολισμός των κόκκων των στόχων από κράμα αλουμινίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας ρυθμίζονται και ελέγχονται κυρίως με ομογενοποίηση πλινθωμάτων, θερμή επεξεργασία και ανόπτηση ανακρυστάλλωσης.Με την ανάπτυξη του μεγέθους γκοφρέτας στα 20,32 εκατοστά (8 ίντσες) και στα 30,48 εκατοστά (12 ίντσες), το μέγεθος στόχου αυξάνεται επίσης, γεγονός που θέτει υψηλότερες απαιτήσεις για στόχους εκτόξευσης από κράμα αλουμινίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας.Προκειμένου να διασφαλιστεί η ποιότητα και η απόδοση του φιλμ, οι παράμετροι επεξεργασίας στόχου πρέπει να ελέγχονται αυστηρά για να γίνει ομοιόμορφη η μικροδομή στόχος και ο προσανατολισμός των κόκκων πρέπει να έχει ισχυρές (200) και (220) επίπεδες υφές.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουν-30-2022