Όλοι γνωρίζουμε ότι το sputtering είναι μία από τις κύριες τεχνολογίες για την προετοιμασία υλικών φιλμ.Χρησιμοποιεί τα ιόντα που παράγονται από την πηγή ιόντων για να επιταχύνει τη συσσωμάτωση στο κενό για να σχηματίσει μια δέσμη ιόντων υψηλής ταχύτητας, να βομβαρδίσει τη στερεά επιφάνεια και τα ιόντα ανταλλάσσουν κινητική ενέργεια με τα άτομα στη στερεά επιφάνεια, έτσι ώστε τα άτομα στο στερεό επιφάνεια αφήνουν το στερεό και εναποτίθενται στην επιφάνεια του υποστρώματος.Το βομβαρδισμένο στερεό είναι η πρώτη ύλη για την εναπόθεση μεμβράνης με διασκορπισμό, που ονομάζεται στόχος διασκορπισμού.
Διάφοροι τύποι υλικών διασκορπισμένης μεμβράνης έχουν χρησιμοποιηθεί ευρέως σε ολοκληρωμένα κυκλώματα ημιαγωγών, μέσα εγγραφής, επίπεδη οθόνη, επικάλυψη επιφανειών εργαλείων και καλουπιών και ούτω καθεξής.
Οι στόχοι διασκορπισμού χρησιμοποιούνται κυρίως σε βιομηχανίες ηλεκτρονικών και πληροφοριών, όπως ολοκληρωμένα κυκλώματα, αποθήκευση πληροφοριών, οθόνες υγρών κρυστάλλων, μνήμες λέιζερ, ηλεκτρονικός εξοπλισμός ελέγχου κ.λπ.Μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί στον τομέα της επίστρωσης γυαλιού.Μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί σε ανθεκτικά στη φθορά υλικά, αντοχή στη διάβρωση σε υψηλή θερμοκρασία, διακοσμητικά προϊόντα υψηλής ποιότητας και άλλες βιομηχανίες.
Υπάρχουν πολλά είδη στόχων κατάδυσης και υπάρχουν διάφορες μέθοδοι για την ταξινόμηση των στόχων:
Σύμφωνα με τη σύνθεση, μπορεί να χωριστεί σε μεταλλικό στόχο, στόχο κράματος και στόχο κεραμικής ένωσης.
Ανάλογα με το σχήμα, μπορεί να χωριστεί σε μακρύ στόχο, τετράγωνο στόχο και στρογγυλό στόχο.
Μπορεί να χωριστεί σε μικροηλεκτρονικό στόχο, στόχο μαγνητικής εγγραφής, στόχο οπτικού δίσκου, στόχο πολύτιμου μετάλλου, στόχο αντίστασης φιλμ, στόχο αγώγιμου φιλμ, στόχο τροποποίησης επιφάνειας, στόχο μάσκας, στόχο διακοσμητικού στρώματος, στόχο ηλεκτροδίου και άλλους στόχους σύμφωνα με το πεδίο εφαρμογής.
Σύμφωνα με διαφορετικές εφαρμογές, μπορεί να χωριστεί σε κεραμικούς στόχους που σχετίζονται με ημιαγωγούς, μεσαίους κεραμικούς στόχους καταγραφής, κεραμικούς στόχους οθόνης, υπεραγώγιμους κεραμικούς στόχους και γιγάντιους κεραμικούς στόχους μαγνητοαντίστασης.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουλ-29-2022