Πρέπει να είμαστε πολύ εξοικειωμένοι με τον στόχο τώρα, τώρα η αγορά-στόχος αυξάνεται επίσης, το παρακάτω είναι ποια είναι η κύρια απόδοση του sputtering target που μοιράζεται ο συντάκτης από το RSM
Η αγνότητα
Η καθαρότητα του υλικού στόχου είναι ένας από τους κύριους δείκτες απόδοσης, επειδή η καθαρότητα του υλικού στόχου έχει μεγάλη επίδραση στην απόδοση του λεπτού φιλμ.Ωστόσο, στην πρακτική εφαρμογή, οι απαιτήσεις καθαρότητας των υλικών-στόχων δεν είναι οι ίδιες.Για παράδειγμα, με την ταχεία ανάπτυξη της βιομηχανίας μικροηλεκτρονικών, το μέγεθος του τσιπ πυριτίου έχει αναπτυχθεί από 6”, 8” σε 12″ και το πλάτος καλωδίωσης έχει μειωθεί από 0,5um σε 0,25um, 0,18um ή ακόμα και 0,13um.Προηγουμένως, η καθαρότητα του υλικού στόχου 99,995% μπορεί να ικανοποιήσει τις απαιτήσεις της διαδικασίας του 0,35umIC.Η καθαρότητα του υλικού στόχου είναι 99,999% ή ακόμα και 99,9999% για την παρασκευή γραμμών 0,18um.
Περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες
Οι ακαθαρσίες στο στερεό στόχο και το οξυγόνο και οι υδρατμοί στους πόρους είναι οι κύριες πηγές ρύπανσης της εναπόθεσης φιλμ.Τα υλικά-στόχοι για διαφορετικούς σκοπούς έχουν διαφορετικές απαιτήσεις για διαφορετική περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες.Για παράδειγμα, οι στόχοι καθαρού αλουμινίου και κραμάτων αλουμινίου που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών έχουν ειδικές απαιτήσεις για την περιεκτικότητα σε αλκαλικά μέταλλα και ραδιενεργά στοιχεία.
Η πυκνότητα
Προκειμένου να μειωθεί το πορώδες στο στερεό στόχο και να βελτιωθεί η απόδοση του φιλμ διασκορπισμού, απαιτείται συνήθως υψηλή πυκνότητα του στόχου.Η πυκνότητα του στόχου επηρεάζει όχι μόνο τον ρυθμό εκτόξευσης αλλά και τις ηλεκτρικές και οπτικές ιδιότητες του φιλμ.Όσο μεγαλύτερη είναι η πυκνότητα στόχου, τόσο καλύτερη είναι η απόδοση του φιλμ.Επιπλέον, η αύξηση της πυκνότητας και της αντοχής του στόχου κάνει τον στόχο να αντέχει καλύτερα τη θερμική καταπόνηση κατά τη διαδικασία εκτόξευσης.Η πυκνότητα είναι επίσης ένας από τους βασικούς δείκτες απόδοσης του στόχου.
Μέγεθος κόκκου και κατανομή μεγέθους κόκκου
Ο στόχος είναι συνήθως πολυκρυσταλλικός με μέγεθος κόκκου που κυμαίνεται από μικρόμετρο έως χιλιοστό.Για τον ίδιο στόχο, ο ρυθμός εκτόξευσης του στόχου με μικρούς κόκκους είναι ταχύτερος από αυτόν του στόχου με μεγάλους κόκκους.Η κατανομή πάχους των μεμβρανών που εναποτίθενται από τον στόχο με ψεκασμό με μικρότερη διαφορά μεγέθους κόκκων (ομοιόμορφη κατανομή) είναι πιο ομοιόμορφη.
Ώρα δημοσίευσης: Αύγ-04-2022