Πολλοί φίλοι σχετικά με τη συντήρηση του στόχου υπάρχουν περισσότερες ή λιγότερες ερωτήσεις, πρόσφατα υπάρχουν επίσης πολλοί πελάτες που συμβουλεύονται σχετικά με τη συντήρηση των προβλημάτων που σχετίζονται με τον στόχο, αφήστε τον συντάκτη του RSM να μοιραστούμε σχετικά με τις γνώσεις συντήρησης στόχων sputtering.
Πώς πρέπει να διατηρούνται οι στόχοι διασκορπισμού;
1, Στόχος συντήρησης
Προκειμένου να αποφευχθεί το βραχυκύκλωμα και το τόξο που προκαλείται από ακάθαρτη κοιλότητα στη διαδικασία εκτόξευσης, είναι απαραίτητο να αφαιρούνται περιοδικά οι εκτοξευτήρες που συσσωρεύονται στη μέση και στις δύο πλευρές της διαδρομής εκτόξευσης, κάτι που βοηθά επίσης τους χρήστες να εκτοξεύουν συνεχώς σε υψηλή πυκνότητα ισχύος.
2, Αποθήκευση στόχου
Συνιστούμε στους χρήστες να αποθηκεύουν τον στόχο (μεταλλικό ή κεραμικό) σε συσκευασία κενού, ειδικά ο στόχος τοποθέτησης πρέπει να φυλάσσεται σε κενό για να αποτρέπεται η οξείδωση του στρώματος τοποθέτησης από το να επηρεάσει την ποιότητα τοποθέτησης.Όσον αφορά τη συσκευασία των μεταλλικών στόχων, προτείνουμε να συσκευάζονται τουλάχιστον σε καθαρές πλαστικές σακούλες.
3, Στόχος καθαρισμού
Το πρώτο βήμα είναι να καθαρίσετε με ένα απαλό πανί που δεν αφήνει χνούδι εμποτισμένο με ασετόν.
Το δεύτερο βήμα είναι παρόμοιο με το πρώτο βήμα, καθαρισμός με οινόπνευμα.
Βήμα 3: Καθαρίστε με απιονισμένο νερό.Μετά τον καθαρισμό με απιονισμένο νερό, ο στόχος τοποθετείται στο φούρνο και στεγνώνει στους 100 ℃ για 30 λεπτά.Προτείνεται η χρήση «πανιού χωρίς χνούδι» για τον καθαρισμό οξειδίων και κεραμικών στόχων.
Το τέταρτο βήμα είναι να πλύνετε τον στόχο με αργό με υψηλή πίεση και χαμηλή υγρασία για να αφαιρέσετε τυχόν ακάθαρτα σωματίδια που μπορεί να προκαλέσουν τόξο στο σύστημα εκτόξευσης.
4, Έλεγχος βραχυκυκλώματος και στεγανότητας
Αφού εγκατασταθεί ο στόχος, ολόκληρη η κάθοδος πρέπει να ελεγχθεί για βραχυκύκλωμα και στεγανότητα.Συνιστάται να κρίνουμε εάν υπάρχει βραχυκύκλωμα στην κάθοδο χρησιμοποιώντας ένα μετρητή αντίστασης και ένα megger.Αφού επιβεβαιωθεί ότι δεν υπάρχει βραχυκύκλωμα στην κάθοδο, μπορεί να πραγματοποιηθεί επιθεώρηση διαρροής νερού και να εισαχθεί νερό στην κάθοδο για να προσδιοριστεί εάν υπάρχει διαρροή νερού.
5, Συσκευασία και μεταφορά
Όλοι οι στόχοι είναι συσκευασμένοι σε πλαστικές σακούλες σφραγισμένες υπό κενό με αδιάβροχο παράγοντα.Η εξωτερική συσκευασία είναι γενικά ξύλινο κουτί με στρώμα προστασίας από σύγκρουση για προστασία του στόχου και του πίσω αεροπλάνου από ζημιές κατά τη μεταφορά και την αποθήκευση.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουλ-15-2022