Το υλικό-στόχος που χρησιμοποιείται στη βιομηχανία αποθήκευσης δεδομένων απαιτεί υψηλή καθαρότητα και οι ακαθαρσίες και οι πόροι πρέπει να ελαχιστοποιούνται για να αποφευχθεί η δημιουργία σωματιδίων ακαθαρσίας κατά τη διάρκεια της ψεκασμού.Το υλικό-στόχος που χρησιμοποιείται για προϊόντα υψηλής ποιότητας απαιτεί το μέγεθος των κρυσταλλικών σωματιδίων του να είναι μικρό και ομοιόμορφο και να μην έχει κρυσταλλικό προσανατολισμό.Παρακάτω, ας ρίξουμε μια ματιά στις απαιτήσεις της βιομηχανίας οπτικής αποθήκευσης για το υλικό-στόχο;
1. Καθαρότητα
Σε πρακτικές εφαρμογές, η καθαρότητα των υλικών-στόχων ποικίλλει ανάλογα με τις διάφορες βιομηχανίες και απαιτήσεις.Ωστόσο, συνολικά, όσο υψηλότερη είναι η καθαρότητα του υλικού στόχου, τόσο καλύτερη είναι η απόδοση του διασκορπισμένου φιλμ.Για παράδειγμα, στη βιομηχανία οπτικής αποθήκευσης, η καθαρότητα του υλικού στόχου απαιτείται να είναι μεγαλύτερη από 3N5 ή 4N
2. Περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες
Το υλικό-στόχος χρησιμεύει ως η πηγή καθόδου στην εκτόξευση και οι ακαθαρσίες στο στερεό και το οξυγόνο και οι υδρατμοί στους πόρους είναι οι κύριες πηγές ρύπανσης για την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών.Επιπλέον, υπάρχουν ειδικές απαιτήσεις για στόχους διαφορετικών χρήσεων.Λαμβάνοντας ως παράδειγμα τη βιομηχανία οπτικής αποθήκευσης, η περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες στους στόχους ψεκασμού πρέπει να ελέγχεται πολύ χαμηλά για να διασφαλιστεί η ποιότητα της επίστρωσης.
3. Μέγεθος κόκκου και κατανομή μεγέθους
Συνήθως, το υλικό-στόχος έχει πολυκρυσταλλική δομή, με μεγέθη κόκκων που κυμαίνονται από μικρόμετρα έως χιλιοστά.Για στόχους με την ίδια σύνθεση, ο ρυθμός εκτόξευσης των στόχων λεπτού κόκκου είναι ταχύτερος από αυτόν των στόχων χονδρόκοκκου.Για στόχους με μικρότερες διαφορές μεγέθους κόκκων, το πάχος του εναποτιθέμενου φιλμ θα είναι επίσης πιο ομοιόμορφο.
4. Συμπαγότητα
Προκειμένου να μειωθεί το πορώδες στο στερεό υλικό στόχου και να βελτιωθεί η απόδοση του φιλμ, απαιτείται γενικά το υλικό στόχος εκτόξευσης να έχει υψηλή πυκνότητα.Η πυκνότητα του υλικού στόχου εξαρτάται κυρίως από τη διαδικασία προετοιμασίας.Το υλικό-στόχος που κατασκευάζεται με τη μέθοδο τήξης και χύτευσης μπορεί να διασφαλίσει ότι δεν υπάρχουν πόροι στο εσωτερικό του υλικού στόχου και ότι η πυκνότητα είναι πολύ υψηλή.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουλ-18-2023