Τα διασκορπισμένα υλικά-στόχοι έχουν υψηλές απαιτήσεις κατά τη χρήση, όχι μόνο για καθαρότητα και μέγεθος σωματιδίων, αλλά και για ομοιόμορφο μέγεθος σωματιδίων.Αυτές οι υψηλές απαιτήσεις μας κάνουν να δίνουμε μεγαλύτερη προσοχή κατά τη χρήση υλικών στόχων διασκορπισμού.
1. Προετοιμασία ψεκασμού
Είναι πολύ σημαντικό να διατηρείται η καθαριότητα του θαλάμου κενού, ιδιαίτερα του συστήματος ψεκασμού.Λιπαντικά, σκόνη και τυχόν υπολείμματα από προηγούμενες επικαλύψεις μπορεί να συσσωρεύσουν ρύπους όπως το νερό, επηρεάζοντας άμεσα το κενό και αυξάνοντας την πιθανότητα αστοχίας σχηματισμού φιλμ.Τα βραχυκυκλώματα, το τόξο στόχων, οι τραχιές επιφάνειες που σχηματίζουν φιλμ και οι υπερβολικές χημικές ακαθαρσίες προκαλούνται συνήθως από ακάθαρτους θαλάμους εκτόξευσης, όπλα και στόχους.
Για να διατηρηθούν τα χαρακτηριστικά σύνθεσης της επίστρωσης, το αέριο εκτόξευσης (αργό ή οξυγόνο) πρέπει να είναι καθαρό και στεγνό.Μετά την εγκατάσταση του υποστρώματος στον θάλαμο ψεκασμού, πρέπει να εξαχθεί αέρας για να επιτευχθεί το απαιτούμενο επίπεδο κενού για τη διαδικασία.
2. Στόχος καθαρισμού
Ο σκοπός του καθαρισμού του στόχου είναι να αφαιρέσει τυχόν σκόνη ή βρωμιά που μπορεί να υπάρχουν στην επιφάνεια του στόχου.
3. Στόχος εγκατάστασης
Το πιο σημαντικό πράγμα που πρέπει να προσέξετε κατά τη διαδικασία εγκατάστασης του υλικού στόχου είναι να εξασφαλίσετε μια καλή θερμική σύνδεση μεταξύ του υλικού στόχου και του τοιχώματος ψύξης του πιστολιού εκτόξευσης.Εάν το τοίχωμα ψύξης ή η πίσω πλάκα είναι πολύ παραμορφωμένα, μπορεί να προκληθεί ρωγμή ή κάμψη κατά την εγκατάσταση του υλικού στόχου.Η μεταφορά θερμότητας από τον πίσω στόχο στο υλικό στόχο θα επηρεαστεί σε μεγάλο βαθμό, με αποτέλεσμα την αδυναμία διάχυσης της θερμότητας κατά τη διάρκεια της εκτόξευσης, οδηγώντας τελικά σε ρωγμές ή απόκλιση του υλικού στόχου.
4. Επιθεώρηση βραχυκυκλώματος και στεγανοποίησης
Μετά την εγκατάσταση του υλικού στόχου, είναι απαραίτητο να ελέγξετε το βραχυκύκλωμα και τη στεγανοποίηση ολόκληρης της καθόδου.Συνιστάται η χρήση ενός ωμόμετρου και ενός μεγοχόμετρου για να προσδιοριστεί εάν η κάθοδος είναι βραχυκυκλωμένη.Αφού επιβεβαιωθεί ότι η κάθοδος δεν έχει βραχυκύκλωμα, μπορεί να πραγματοποιηθεί ανίχνευση διαρροής με έγχυση νερού στην κάθοδο για να προσδιοριστεί εάν υπάρχει διαρροή.
5. Υλικό στόχου πριν από την εκτόξευση
Συνιστάται η χρήση καθαρού αερίου αργού για την εκτόξευση του υλικού στόχου, το οποίο μπορεί να καθαρίσει την επιφάνεια του υλικού στόχου.Συνιστάται η αργή αύξηση της ισχύος εκτόξευσης κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εκτόξευσης για το υλικό-στόχο.Η δύναμη του κεραμικού υλικού στόχου
Ώρα δημοσίευσης: Οκτ-19-2023