Η ευρεία χρήση του υλικού-στόχου σε διάφορα επαγγέλματα κάνει τη ζήτηση για υλικό-στόχο όλο και μεγαλύτερη.Το ακόλουθο Εμείς θα εισαγάγετε εν συντομία εσείς ποιες είναι οι πρωταρχικές λειτουργικές απαιτήσεις του στόχου, hoping για να σε βοηθησω.
Καθαρότητα: Η καθαρότητα είναι ένας από τους κύριους λειτουργικούς δείκτες του στόχου, επειδή η καθαρότητα του στόχου έχει μεγάλο αντίκτυπο στη λειτουργία του φιλμ.Αλλά στην πράξη, η καθαρότητα του υλικού στόχου δεν είναι η ίδια.Για παράδειγμα, με την ταχεία ανάπτυξη του επαγγέλματος της μικροηλεκτρονικής, το μέγεθος της γκοφρέτας πυριτίου έχει αναπτυχθεί από 6”, 8” σε 12″ και το πλάτος καλωδίωσης έχει μειωθεί από 0,5um σε 0,25um, 0,18um και ακόμη και 0,13um.Μόλις το 99,995% της καθαρότητας στόχου μπορεί να ικανοποιήσει τις τεχνολογικές απαιτήσεις του 0,35UMIC.Η προετοιμασία της γραμμής 0,18um απαιτεί 99,999% ή ακόμα και 99,9999% καθαρότητα του υλικού στόχου.
Πυκνότητα: Προκειμένου να μειωθεί το πορώδες στο στερεό στόχο και να βελτιωθεί η λειτουργία του φιλμ διασκορπισμού, ο στόχος συνήθως απαιτείται να έχει υψηλή πυκνότητα.Η πυκνότητα στόχος επηρεάζει όχι μόνο τον ρυθμό εκτόξευσης αλλά και τις ηλεκτρικές και οπτικές ιδιότητες των φιλμ.Όσο υψηλότερη είναι η πυκνότητα στόχου, τόσο καλύτερη είναι η λειτουργία της μεμβράνης. Επιπλέον, η πυκνότητα και η αντοχή του υλικού στόχου αυξήθηκαν για να μπορέσει να αντέχει καλύτερα τη θερμική καταπόνηση κατά την εκτόξευση.Η πυκνότητα είναι επίσης ένας από τους σημαντικούς λειτουργικούς δείκτες των ουσιών-στόχων.
Περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες: ακαθαρσίες στο στερεό στόχο και οξυγόνο και υδρατμοί στους πόρους είναι οι κύριες πηγές ρύπανσης των συσσωρευμένων μεμβρανών. Διαφορετικά υλικά-στόχοι για διαφορετικούς σκοπούς έχουν διαφορετικές απαιτήσεις για διαφορετική περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες.Για παράδειγμα, οι στόχοι καθαρού αλουμινίου και κραμάτων αλουμινίου που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών έχουν ειδικές απαιτήσεις για την περιεκτικότητα σε αλκαλικά μέταλλα και την περιεκτικότητα σε ραδιενεργά στοιχεία.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουν-06-2022