Με την ανάπτυξη της βιομηχανικής τεχνολογίας, η ποιότητα των στόχων που απαιτούνται για τη βιομηχανική παραγωγή γίνεται επίσης ολοένα και υψηλότερη, επειδή η ποιότητα των στόχων επηρεάζει άμεσα την απόδοση των μεμβρανών sputtering magnetron.Σήμερα, οι επιχειρήσεις προτιμούν γενικά να χρησιμοποιούν στόχους υψηλής πυκνότητας με ομοιόμορφη δομή σύνθεσης για επίστρωση με διασκορπισμό κατά την αγορά στόχων, έτσι ώστε να μειωθεί η πολλαπλή ραφή των στόχων και να βελτιωθεί η ποιότητα των επιχρισμάτων κατάδυσης. Επομένως, αυτό απαιτεί από τον κατασκευαστή του στόχου να ελέγξτε την ποιότητα του στόχου. Τώρα αφήστε τον συντάκτη του ΠεκίνουRichmatσας οδηγούν να κατανοήσετε ποιοι παράγοντες επηρεάζουν την ποιότητα του στόχου.
1,Η επίδραση των παραμέτρων της διαδικασίας στην ποιότητα του στόχου
Οι παράμετροι της διαδικασίας περιλαμβάνουν κυρίως την πίεση ψυχρής συμπίεσης, την ταχύτητα συμπίεσης και την ταχύτητα ξεκαλουπώματος και άλλες παραμέτρους.Όταν ο στόχος είναι ψυχρής πίεσης, η πίεση θα επηρεάσει άμεσα την ποιότητα του τυφλού στόχου.Η ταχύτητα συμπίεσης έχει μεγάλο αντίκτυπο στη στρωματοποίηση του τυφλού στόχου και η αρχική κατάσταση όταν η σκόνη γεμίζεται ομοιόμορφα στο αρνητικό καλούπι είναι μια χαλαρή κατάσταση, η οποία έχει πολλούς πόρους και αέρια και η εκκένωση των αερίων διαρκεί μια περίοδο χρόνος.
2,οΕπίδραση της μούχλας στην ποιότητα-στόχο
Το καλούπι έχει επίσης μια ορισμένη επίδραση στο σχηματισμό του τεμαχίου στόχου.Οι κύριοι παράγοντες που επηρεάζουν περιλαμβάνουν το φινίρισμα της επιφάνειας της εσωτερικής πλευράς του καλουπιού, το κενό μεταξύ της διάτρησης και της κοιλότητας του καλουπιού κ.λπ. εάν το διάκενο είναι πολύ μεγάλο, θα εμφανιστεί ροή σκόνης και διαρροή σκόνης, γεγονός που θα κάνει την οριακή πυκνότητα του το κενό είναι χαμηλό, και προβλήματα ποιότητας, όπως πτώση της άκρης κατά το ξεκαλούπωμα.
3,Η επίδραση της περιεκτικότητας σε υγρασία υλικού στην ποιότητα του στόχου
Η υγρασία που περιέχεται στη σκόνη του υλικού στόχου είναι ισοδύναμη με την επίδραση του λιπαντικού και η παρουσία του μπορεί να μειώσει την τριβή μεταξύ των σωματιδίων, η οποία ευνοεί την αποτελεσματική μετάδοση της πίεσης ψυχρής πίεσης και επίσης ευνοεί την ομαλή ολίσθηση και αναδιάταξη μεταξύ των σωματιδίων σκόνης.Ωστόσο, όταν η περιεκτικότητα σε νερό είναι πολύ μικρή ή πολύ, θα επηρεάσει την ποιότητα του στόχου.
Όταν η περιεκτικότητα σε νερό στη σκόνη ITO είναι μικρότερη από 2%, η πιθανότητα προβλημάτων ποιότητας όπως η απώλεια άκρων και η αποκόλληση του υλικού στόχου θα αυξηθεί σημαντικά όταν άλλες συνθήκες όπως η πίεση ψυχρής έκθλιψης και η περιεκτικότητα σε συνδετικό υλικό είναι ίδιες. Όταν το νερό Η περιεκτικότητα σε σκόνη ITO είναι μεγαλύτερη από 10%, υπό την ίδια πίεση ψυχρής συμπίεσης, περιεχόμενο συνδετικού και άλλες συνθήκες, αν και τα σωματίδια της σκόνης γλιστρούν και αναδιατάσσονται πιο εύκολα, το νερό αποβάλλεται από το εσωτερικό του καλουπιού, το οποίο θα προκαλέσει το πρόβλημα της πτώσης άκρες γύρω από το τυφλό υλικό του στόχου.Τα αποτελέσματα δείχνουν ότι όταν η περιεκτικότητα σε νερό της σκόνης είναι μεταξύ 3% και 6%, η ποιότητα του τυφλού ελέγχεται αποτελεσματικά.
4,Επίδραση του περιεχομένου του συνδετικού υλικού στην ποιότητα-στόχο
Η ποσότητα του συνδετικού που ενσωματώνεται έχει μεγάλη επίδραση στην ποιότητα του υλικού στόχου.Όταν η ποσότητα ενσωμάτωσης είναι μικρότερη από 1%, το τυφλό στόχο θα έχει πολύ σοβαρό πρόβλημα ποιότητας, αυτή τη στιγμή, η επίδραση του συνδετικού δεν εμφανίζεται και έχει μικρή επίδραση στη βελτίωση της αντοχής του τυφλού στόχου. Με η αύξηση της ενσωμάτωσης συνδετικού υλικού σε 2% και 3%, η αντοχή του υλικού στόχου ενισχύεται και το πρόβλημα ποιότητας του υλικού στόχου μειώνεται πολύ.Ωστόσο, όταν το συνδετικό ενσωματώνεται στο 4%, αν και το πρόβλημα ποιότητας του τεμαχίου ψυχρής πίεσης του υλικού στόχου εξαφανίζεται, το υλικό στόχος περιστασιακά αποκολλάται κατά τη διάρκεια της επακόλουθης διαδικασίας ξεκαλουπώματος.
Ώρα δημοσίευσης: Απρ-22-2022