Η επιμετάλλωση υπό κενό κατά την επιλογή των υλικών στόχων διασκορπισμού είναι ένα ζήτημα για τους ανθρώπους, προς το παρόν, καθώς η επίστρωση διασκορπισμού, ειδικά η ανάπτυξη των δεξιοτήτων επίστρωσης με διασκορπισμό μαγνητρόν, μπορεί να ειπωθεί για οποιαδήποτε πληροφορία μπορεί να στοχεύσει την προετοιμασία υλικού λεπτών μεμβρανών με βομβαρδισμό ιόντων, επειδή με τη διασκορπισμό του υλικού στόχου κατά τη διαδικασία της επικάλυψης στο είδος του υποστρώματος, έχει σημαντική επίδραση στην ποιότητα του φιλμ επιμετάλλωσης, επομένως, οι απαιτήσεις υλικού στόχου είναι πιο αυστηρές.Εδώ θα μάθουμε για το ρόλο του sputtering target στην επίστρωση κενού μαζί με τον συντάκτη του Beijing Relaxation
一、Αρχή επιλογής και ταξινόμησης του υλικού-στόχου
Κατά την επιλογή του υλικού στόχου, εκτός από τη χρήση της ίδιας της ταινίας θα πρέπει να ληφθούν υπόψη και τα ακόλουθα προβλήματα:
Πρόβλημα 1. Σύμφωνα με τις απαιτήσεις χρήσης και απόδοσης της μεμβράνης, είναι απαραίτητο το υλικό-στόχος να πληροί τις τεχνικές απαιτήσεις καθαρότητας, περιεχομένου γεμιστήρα, ομοιομορφίας εξαρτημάτων, ακρίβειας μηχανικής κατεργασίας και ούτω καθεξής.
Πρόβλημα 2. Το υλικό-στόχος πρέπει να έχει καλή μηχανική αντοχή και χημική σταθερότητα μετά το σχηματισμό φιλμ.
Πρόβλημα 3. Είναι απαραίτητο για το υλικό της μεμβράνης να δημιουργεί εύκολα σύνθετο φιλμ με το αέριο αντίδρασης ως το αντιδραστικό φιλμ διασκορπισμού.
Πρόβλημα 4. Είναι απαραίτητο να ρυθμιστεί ο στόχος και η μήτρα να είναι ισχυρή, διαφορετικά, θα πρέπει να υιοθετηθεί το υλικό μεμβράνης με καλή πρόσφυση με τη μήτρα, πρώτα να διασκορπιστεί μια στρώση από την κάτω μεμβράνη και στη συνέχεια να προετοιμαστεί η απαιτούμενη στρώση φιλμ.
Ερώτηση 5. Υπό την προϋπόθεση ότι πληρούνται οι απαιτήσεις απόδοσης της μεμβράνης, όσο μικρότερη είναι η διαφορά μεταξύ του συντελεστή θερμικής διαστολής του στόχου και της μήτρας, τόσο το καλύτερο, ώστε να μειωθεί η επίδραση της θερμικής καταπόνησης του φιλμ διασκορπισμού.
Προετοιμασία πολλών κοινώς χρησιμοποιούμενων στόχων
(1) cr στόχος
Το χρώμιο ως υλικό μεμβράνης εκτόξευσης δεν είναι μόνο εύκολο να συνδυαστεί με το βασικό υλικό έχει υψηλή πρόσφυση, και το φιλμ χρωμίου και οξειδίου CrQ3, οι μηχανικές του ιδιότητες, η αντίσταση στα οξέα και η θερμική σταθερότητα είναι καλύτερες.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. ασχολείται κυρίως με: στόχος τιτανίου ζιρκονίου, στόχος αλουμινίου, στόχος νικελίου, στόχος χρωμίου, στόχος βολφραμίου, στόχος μολυβδαινίου, στόχος χαλκού, στόχος πυριτίου, στόχος νιοβίου, στόχος τανταλίου, κράμα τιτανίου-πυριτίου στόχος, στόχος κράματος τιτανίου-νιοβίου, στόχος κράματος τιτανίου-βολφραμίου, στόχος κράματος τιτανίου-ζιρκονίου, στόχος κράματος νικελίου-χρωμίου, στόχος κράματος πυριτίου-αλουμινίου, στόχος κράματος νικελίου-βαναδίου, στόχος τριμερούς κράματος χρωμίου-αλουμινίου-πυριτίου· Ti al si Υλικό στόχου τριαδικού κράματος, που χρησιμοποιείται ευρέως στη διακόσμηση / σκληρές επιφάνειες και λειτουργικές επικαλύψεις, αρχιτεκτονικό γυαλί, επίπεδη οθόνη / οπτικό φωτοηλεκτρικό, οπτική αποθήκευση, ηλεκτρονικά, εκτύπωση και άλλα επαγγέλματα.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουν-02-2022