Τώρα όλο και περισσότεροι χρήστες κατανοούν τους τύπους στόχων καιτις εφαρμογές του, αλλά η υποδιαίρεση μπορεί να μην είναι πολύ σαφής.Τώρα αςΜηχανικός RSM μοιραζομαι μαζι σουκάποια επαγωγή των στόχων μάγνητρον.
Στόχος ψεκασμού: στόχος επίστρωσης μεταλλικού ψεκασμού, στόχος επίστρωσης από κράμα, στόχος κεραμικού κελύφους από κεραμικό στόχο σίλουσης, κεραμικό στόχο του σιλόου, σιλομάτη κεραμικός στόχος Sputtering, στόχος, στόχος θειούχου κεραμικού διασκορπισμού, κεραμικός στόχος τελλουριδίου, άλλοι κεραμικοί στόχοι, κεραμικός στόχος οξειδίου του πυριτίου με πρόσμειξη χρωμίου (CR SiO), στόχος φωσφιδίου ινδίου (INP), στόχος αρσενιδίου μολύβδου (pbas), στόχος αρσενιδίου του ινδίου (InAs).
Η διασκορπισμός μαγνητρονίων χωρίζεται γενικά σε δύο τύπους: διασκορπισμό DC και ραδιοσυχνότητες.Η αρχή του εξοπλισμού διασκορπισμού συνεχούς ρεύματος είναι απλή και ο ρυθμός του είναι επίσης γρήγορος κατά την εκτόξευση μετάλλου.Η εκτόξευση RF χρησιμοποιείται ευρέως.Εκτός από την εκτόξευση αγώγιμων δεδομένων, μπορεί επίσης να εκτοξεύει μη αγώγιμα δεδομένα.Ο στόχος διασκορπισμού μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για αντιδραστική επιμετάλλωση για την παρασκευή σύνθετων δεδομένων όπως οξείδια, νιτρίδια και καρβίδια.Εάν η συχνότητα ραδιοσυχνοτήτων αυξηθεί, θα γίνει ψεκασμός πλάσματος μικροκυμάτων.Επί του παρόντος, χρησιμοποιείται συνήθως η επιμετάλλωση πλάσματος μικροκυμάτων με συντονισμό ηλεκτρονίων κυκλοτρονίων (ECR).
Ώρα δημοσίευσης: 26 Μαΐου 2022